苏州工业园区：驰骋在第三代半导体“黄金赛道”

□苏报驻园区首席记者 董捷

在新能源汽车、工业互联、5G通信、消费类电子等多重需求的强力拉动下，以碳化硅为代表的第三代半导体近年来驶入发展快车道。在苏州古城东面，创新热土苏州工业园区瞄准国家重大战略需求，全面开启一场系统性提升第三代半导体技术创新能力的行动。

2021年获批建设国家第三代半导体技术创新中心苏州平台以来，苏州工业园区主动融入国家创新体系，全力汇聚国内外顶尖智力资源，整合区内高校院所、科研平台、高端人才等创新要素，并以重大项目、重大平台建设为牵引，为产业创新集群建设赋能增效。与最强的拼、与最快的赛、与最好的比，苏州工业园区正一往无前，驰骋在科技创新又一黄金赛道。

2年间核心科研团队扩容至300人

今年1月，国家第三代半导体技术创新中心苏州平台研发与产业化基地企业总部工程正式封顶。作为园区打造第三代半导体产业集群和创新高地的重大基础设施，该基地全部建成后，将与园区微纳制造（MEMS）中试平台形成紧密联动，实现第三代半导体技术与微纳制造等两大细分领域相互促进的发展态势。

2021年3月获批，至今短短2年，三代半国创中心以只争朝夕的紧迫感，跑出了建设加速度。2022年1月，国创中心研发与产业化基地开工；2022年6月，面向关键技术攻关方向，三代半国创中心新启动共建8家联合研发中心，首支规模3亿元基金苏州荷塘创芯基金同期签约成立；2022年11月，三代半国创中心与中国电科产业基础研究院合作共建的三微电子科技（苏州）有限公司总部大楼落成开业，致力打造国际一流的第三代半导体研发中心、先进微系统组装中心、高端芯片研发和产业化高地；同年12月，三代半国创中心材料生长创新平台和器件工艺平台于纳米城Ⅲ区达到完工状态，首期面积2.3万平方米，具备设备入驻条件，将建设全链条研发支撑平台，突破材料创新关键共性技术和工艺关键环节，实现装备、技术、人才的源头供给

第三代半导体还处于发展初期，国内外基本站在同一起跑线上。三代半国创中心建设单位代表江苏第三代半导体研究院院长徐科表示，第三代半导体在国际上还未形成技术标准体系，我国有机会实现弯道超车，并跑、甚至领跑半导体产业的发展。因此，三代半国创中心获批建设后，已吸引30余位国内外高层次领军人才创新创业，形成规模300人的核心科研团队。目前，该中心已承担省级以上重大研发项目7项，组织揭榜挂帅项目3个，在大尺寸氮化镓材料制备等领域取得重大突破，在积极服务国家战略的同时，为提升园区第三代半导体产业创新能力提供了关键支撑。

17个联合研发中心构建服务矩阵

一片氮化镓晶片国际市场售价高达7000美元，但市场上仍供不应求。这一幕，发生在本世纪初。2006年，已掌握氮化镓制备合成技术的徐科，成为苏州纳米技术与纳米仿生研究所首批引入的高端人才之一。落户第二年，徐科就组建团队创立纳维科技，专注于氮化镓晶片生产和设备国产化。如今，纳维科技成长为全球第七家、国内首家具备氮化镓晶片生产能力和批量供货的公司，在这一被国外的垄断的领域撕开了口子。

引进一个人才、创立一家企业、带动一个产业。

过去十多年，园区用特殊的培养路径实现了三大战略性新兴产业从无到有。来到园区创业的17年间，徐科已成为园区创新元素的一分子。随着区域产业的升级，他的身份也从企业家转变成江苏第三代半导体研究院院长，见证并亲历着园区推动第三代半导体产业从无到有、从大到强的不懈探索。

三代半国创中心组建了由10名院士领衔的技术专家委员会，汇聚国内外技术前沿的一流科学家、学科领军人才和科研团队，细心梳理产业长远发展必须解决的技术难题，组织上下游团队协力攻关。徐科介绍，三代半国创中心与全国知名高校、院所、企业设立17个联合研发中心，建立了比肩国际一流科研机构的公共服务平台。此外，还以关键技术研发为核心使命，产学研协同推动科技成果转移转化与产业化，为区域产业发展提供源头技术供给。

目前，第三代半导体已经显示出了在汽车电子、通信、航空航天等方面的应用优势，园区在第三代半导体领域拥有丰富的企业资源和科技力量。国创中心主任郝跃表示，下一步，三代半国创中心将更好地汇聚人才、资源，同时依托园区良好的政策环境，进一步加速科技到产业的转化，为国家解决重大战略需求和产业发展需求。