2400多家企业集中亮相本届纳博会，展示前沿技术和拳头产品——
呈现产业链全景图 汇聚园区发展“纳智慧”
集聚全球顶级专家、行业精英，汇集行业新技术、新产品、新成果……昨天（10月23日），随着第十四届中国国际纳米技术产业博览会开幕，全球纳米产业进入“金鸡湖时刻”。2400多家纳米技术相关企业集中亮相，争相展示各自前沿技术和拳头产品。金鸡湖成为连接全球纳米领域“产、学、研、用”各界的桥梁和纽带。
苏企自研设备实现高精度无损检测
面对高精度锂电池，如何能在无损电池极片表面的情况下实现又快又准的检测？展会上，江苏自贸区苏州片区企业托托科技（苏州）有限公司带来“新解法”。
“传统检测工具很多采用电子束或探针扫描检测样品，最大缺点是会损伤样品。我们今年3月推出的检测设备，以光学非接触方式进行检测，可以无损、高精度判断高精度金属表面、生物芯片、半导体芯片等产品的工艺水平。”该款光学检测显微镜产品线销售代表丁一航介绍，产品在X、Y轴方向上的分辨率与传统光学显微镜一致，但在Z轴上精度非常高，可达0.1纳米的原子级精度。“光学干涉原理决定了检测精度，这也是我们的核心技术优势。”
技术能力不亚于国外产品，价格仅为其六七成……展台前，托托科技人气十足。丁一航告诉记者，这款检测显微镜主要面向半导体等领域的产品研发，技术门槛较高，在光学软件算法、核证等方面优势明显，实现对国外产品的国产化替代。“我们的产品既能满足不同场景的观察模式，也可实现亚纳米级别的分析结果，独有的AI算法还能无延迟输出分析结果，能满足各类特点场景的检测任务。”丁一航说。
激光直写光刻机彰显核心竞争力
今年，园区蝉联“MEMS传感器十大园区”榜首，实现四连冠。本届纳博会上，以微纳制造技术加速新型材料和工艺创新的苏大维格，带来自主研发的激光图形化直写设备MiScan。
MiScan200激光直写系统，是对感光材料进行微纳米结构制版的重要设备，是IC集成电路和微纳光电子器件产品研发与制造的核心装备之一。现场工作人员告诉记者，MiScan200激光直写系统使用一系列首创方法，能有效突破直写图形纳米级精度和设备运行稳定性一致性的问题，满足光电子行业的技术需求，为光子材料/器件的创新提供不可或缺的原创手段。“这款装备曾获苏锡常首台（套）重大装备认定，在两微米左右精度下，每分钟光刻面积可达600平方毫米。”工作人员说。
据了解，苏大维格是业内少数拥有微纳光学制造完整产业链的企业之一，现阶段公司的微纳光学制造技术主要应用于公共安全和新型3D印材、消费电子新材料和泛半导体等领域。目前，园区成立了纳米加工平台、MEMS中试平台、测试分析平台、微系统平台封装等产业链关键支撑平台，还成立全国首个MEMS产业知识产权联盟，启动全国首个MEMS产业专利池，在声学传感器、压力传感器、气体传感器等领域形成先发优势。
国外展团为本地产业带来全新视角
本届纳博会更注重产业链全景图的呈现。以MEMS产业链为例，汇集歌尔、汉威、敏芯等器件设计企业，中国科学院纳米所、松山湖实验室、杭州士兰微等16家量产/代工企业，胜科纳米、微纳科技、计量所等测试分析企业，科磊半导体、北方华创、上海微电子装备、卡尔蔡司等国内外设备企业。
“我们希望通过升级本届纳博会的规模，扩大园区纳米技术应用及新材料领域‘朋友圈’。”苏州纳米科技发展有限公司相关负责人介绍，今年2月和7月，纳博会主席团代表携企业分赴日韩参加今年日本纳米大会、第22届韩国纳米大会，成功邀请日韩企业组团参展今年纳博会。欧洲、伊朗等国际特色展团也将现场参展，集中展示各自国家在纳米技术领域的最新成果和应用，为本地产业带来全新视角。
本届纳博会邀请到国内外院士20多位、政企及院校专家学者450余位。主报告及分论坛报告中，国际演讲嘉宾约占嘉宾总数30%。“专家大咖进行思想碰撞，不仅会带来最前沿的技术视角，也将加快推动园区在纳米技术应用及新材料领域更高水平的国际合作，为加快建设开放创新的世界一流高科技园区集聚更多智慧。”该负责人说。（苏报驻园区首席记者董捷）
